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      氮氣烘箱 半導體晶圓芯片堅膜烘箱

      發布日期:2021-01-26 12:35:42 作者:admin 點擊:171

      凈化烘箱百級千級無塵凈化烘箱 半導體封裝烘箱

      適用于新材料高溫無氧真空狀態下工作.高溫退火.高溫干燥處理,汽車行業 半導體光電元器件 .光電半導體制程

      無塵凈化烘箱是指使用耐高溫高效過濾器往復循環的過濾空氣中的顆粒物,逐步凈化烘箱工作室內的顆粒物數量,來滿足工藝的需求,確保產品的品質。工藝的需求不同,對環境顆粒物數量的要求也不相同,按等級可以分為千級和百級。多使用在半導體微電子封裝,新材料的測試及顯示基板等工藝上。采用新進的鈑金焊接加工技術,結合工業級智能精密控溫技術,采用環保節能設計,進口耐高溫過濾器,設備密封性好、機械強度高、高潔凈度、易操控、高穩定性、安全性,符合標準化整體式結構箱體;具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、無故障運行時間長等優點。


      采用耐高溫高效過濾器,過濾等級(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫300℃,不銹鋼外框,鋁箔隔層,進口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當設備開啟,熱風循環系統啟動,熱風循環通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。絕熱保溫材料使用100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。使用進口溫度控制器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自動恒溫,超溫抑制,N2L過量報警,傳感器斷線警報,斷電記憶,控溫精準,操控簡便,可選程序控溫功能或液晶屏幕顯示。


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